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关于清洗设备排风系统节能改造研究

发布时间:2019-10-08 02:13:04 文章来源:工具之家    

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贾易洪+赖忠良

摘 yao:本文基于本公司半导体生chan线上清xi间内laoshipai风系tongde改造研究san菱可bian程序逻辑kongzhiqi(PLC)gen据清洗she备shi际使用lv通过变频器自动kongzhi排风dianjide频率,达到节nengde目de。

关jianci:PLC自动控制;变频;节能

DOI:1.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.17.259

0 引言

随着我国半导体行业de飞速fazhan,半导体设备zhong的能源消耗量越来越大。作为发展中国家,资源有限,为了缓解各种资源日益枯竭的压力,本公司开始大力开展节能减排工作,支持节能产品。各类清洗设备是半导体生产线上的必备也是关键的工艺设备。本公司半导体生产线建于90年代,老旧的清洗设备排风系统yi经不能满足新xing势下的节能要求。

1 节能改造yuan因

本公司半导体生产线清洗305fang间里腐蚀ji清洗腐蚀系统、石英guan清洗机、dian炉煮酸台等高腐蚀清洗设备,工艺qi间排fang大量腐蚀xing气体。目前,不管春xia秋冬,设备使用与否,新风系统都要送入恒wen恒湿的空气进入zheng个fang间,每台设备上fang的排风口不断排出废气,经过风机以工频fangshi运行送至酸雾净化塔chu理,然后排到大气中。当设备没有使用,尤其在夏季、冬季温度房间内也必须保持在20-28度、深ye清洗设备没有工作时也工作在这种模式,浪费大量的动力运行费。故需要开发一种自动新型的节能运行方式。

2 改造具体方案

2.1 控制方式的选择

整个系统实际地理环境限制ru清洗机工作状态采取在305房间、排风阀在305房间夹层、变频器在101厂房空diao配电间,控制系统比较分散。若采用传统控制方式控制布线多,受干扰影响大,维护维修困难。可编程序逻辑控制器(PLC)把计算机的功能完备、通用性和灵活性好等优点和继电接触式控制系统的操作方bian、简单易懂、价格低廉等优点结合起来,因此ta是一种适应工业环境的通用控制装置。现在的可编程控制器和原来的控制系统相比,增加了算shu运算、数据zhuan换、过程控制、数据通信等功能,已可以完cheng大xinger复杂的控制任务。可编程序控制器作为工业自动化的技shu支柱之一,在工业自动控制领域占有十分重要的地位[1]。因此选用三菱PLC强大的通信功能实现整个系统的控制。

2.2 控制原理tu

改造好的排风系统控制原理图如图1所shi。

三菱控制系统FX3U-32MR、FX3U-485BD、FX3U-485ADP-MB、FX3U-64CCL、485集线器、三菱F740变频器等安装厂房空调配电间,通信方式完成所有系统的控制,可以在本地、远程手动控制变频器。为了防止误动作,远程只有开启变频器功能,主要用于夏季雷电季节突然断电,第一时间启动变频器减少对房间内废气对整个超净的影响。远程控制柜放置在305房间夹层,根据清洗设备使用情况完成305房间内10个电动防腐排风阀的自动开闭;305房间清洗设备工作状态控制器放置在305房间走廊,将清洗设备工作实时状态传递给PLC控制系tong系统的监控通过三菱CCLINK总线接入到南区xi区洁净厂房运行与管理系统,可以网上任何计算机实时查看其工作状态,当排风系统异常时,以声光形式通知运行保障人员。变频器运行频率根据清洗设备的工作状态自动发生改变,实现节能降耗目的。

3 改造后达到功能及效果

改造的排风系统在在计算机上控制界面可以清楚地kanjian各个清洗设备的实际使用情况及风机的频率、电流、电压等参数。排风系统操作控制界面如图2所示。

改造的清洗间排风系统在我公司已运行半年多,系统工作可靠稳ding,减少了排风及空调机组运行能耗。根据设备运行情况,排风机运行频率由工频降低至48-30HZ,减少排风量约5000li方米/小时左右,同时减小空调机组新风处理量5000立方米/小时,节约电耗约35Kw/h,节yuefei用每年约20万元左右,实现了節能改造目的。

同时,变频器状态能时时显示,出现故zhangshi第一时间工作人员,加强排风系统的安全性,tigao动力保障能力,确保了科研生产的顺利进行。

4 结束语

节能和状态监kongshi一般生产线上老旧工艺或者条件保障设备改造的两个重要目的。通过当下新的PLC应用及变频器的技术,对老式的排风系统的改造,不但能提高设备运行稳定性,还能达到节能的目的,具有很实际的意义。

参考文献:

[1]王永华song寅卯,陈玉国,郑安平.现代电气控制及PLC应用技术[M].北京航空航天出版社,2003.

山东工业技术 2017年17期

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